精密机电(EMD)直线电机介绍
无铁芯直线电机和有铁芯直线电机
直线电机设计的好处:
l 高速
l 高加速度
l 快速响应 一个机械系统的100倍
l 刚度 - 弹性刚度比系统机械要好
l 零间隙 - 直接驱动技术
l 免维护操作 - 由于减少了零部件数量,机械结构比较简单
l 长的行程而不损失性能
l 适用于真空及极端环境
直线电机优势:
直线电机类似于一台旋转电机解刨摊开来进行运转。在一台旋转电机中,相同的电磁效应产生的是转矩,而在直线电机中产生的是直接推力。
在许多应用中,相比较传统的旋转系统而言,直线电机具有明显的优势。比如直线电机不需要通过像齿轮、滚柱丝杠或皮带传动这样的中介机构件将电机连接到负载上。负载直接连接到直线电机上。
因此就没有来自运动部件的间隙和弹性。因此,伺服控制的动力表现得以体现。直线电机由于没有机械传动组件,因此导致了一个低惯性及低噪音的驱动系统。另外,机械磨损只在导向系统中出现。因此,直线电机具有比传统旋转系统更好的可靠性及更低的摩擦损耗。
• 没有磁间吸力 – 无铁芯,易安装,安全
• 无齿槽力脉动 – 速度更平滑,适合于扫描运动动子轻 – 高加减速
• 气隙大于 1mm – 易安装,降低高加速度下线圈变形而剐蹭磁体的风险
• 大推力 – 铁芯可以承载较大推力
• 磁轨低成本 – 只有单列磁轨结构
• 良好的散热 – 由于结构原因和大面积表面朝外,热量容易散除
半导体制造
•光刻
•垂直晶圆炉
•引线键合
•晶圆检查系统
•压模和放置
•平板检查
•湿台处理
•晶圆处理机器人轨道
•BGA球体放置
•光刻胶处理
这只是线性电动机技术已成功应用的一些应用和市场
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